大動作范圍：EFEM模塊移動距離可達4套應用設備，無需使用底架，極大地提高了搬運效率。
       高速搬運：300枚/小時
       適用：300mm-450mm晶片搬運

       *1：本公司標準終端效應器(300mm:邊緣把持/真空吸著,450mm:真空吸)
       *2：300mm晶體(SEMI規格標準品),當使用本公司標準300mm對應終端校準器時
       *3：機械臂回旋中心位置～晶體中心位置(本公司標準300mm對應終端效應器時)
       *4：根據SEMI規格為基準的晶體規格。特殊石英晶體請與我司聯系。石英晶體也可對應（有業績）。但是根據石英規格，本公司需要進行評價和調整。
       *5：在0.3m/s的流量下，機械臂進行真空吸附